单晶多晶硅片寿命测试仪是专用为晶圆品质检验,测量少子寿命,测量光电导率和电阻率等研发的晶圆寿命测试仪器
单晶多晶硅片寿命测试仪 产品详情
单晶多晶硅片寿命测试仪是专用为晶圆品质检验,测量少子寿命,测量光电导率和电阻率等研发的晶圆寿命测试仪器。
单晶多晶硅片寿命测试仪mdpmap自动识别样品,参数设置可以使该仪器适应各种样品，包括从生长的晶圆到高达95%的金属化晶圆之间不同制备阶段的各种外延片和晶圆片。
单晶多晶硅片寿命测试仪具有高度的灵活性，它允许集成多达4台激光器，用于从超低注入到高注入的与注入水平相关的寿命测量，或者通过使用不同的激光波长提取深度信息。
单晶多晶硅片寿命测试仪
灵敏度：对外延工艺监控和不可见缺陷检测，具有可视化测试的分辨率测量速度：6英寸硅晶圆片，1mm分辨率 ，小于5分钟寿命测试范围: 20纳秒到几十毫秒
沾污检测：源自坩埚和生长设备的金属(fe)污染
测量能力：从初始切割的晶圆片到所有工艺加工的样品
灵活性：允许外部激光通过触发器，与探测模块耦合可靠性： 模块化和紧凑台式仪器，更高可靠性，正常运行时间> 99%重现性： > 99.5%电阻率：无需时常校准的电阻率面扫描
单晶多晶硅片寿命测试仪规格参数
样品尺寸
5~300mm（300mm为标配，可根据需求提升至450mm）
寿命范围
20ns到几毫秒
电阻率
0.2 - 10^3 ohm cm p/n
材质
硅晶圆，外延层，部分或完全加工晶圆，化合物半导体等
测量属性
少数载流子寿命,光电导性, μ-pcd/mdp (qss)
激励源
可选四种不同波长（355nm—1480nm），默认980nm
大小
680 x 380 x 450 mm, 重量: 65 kg
电源要求
100-250v，50/60 hz, 5a